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特長： 本装置は投入側よりパレットにより自動搬入 し移載装置により横送りコンベァーに移載さ れます。 熱源は熱風発生機により加熱されます 用途： 半導体の仮キュア |
| 半導体キュア炉 |
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| 仕 様 | |
| 炉形式 | 熱風発生機加熱方式 |
| 温 度 | 常温～２００℃ ＋－５．０℃ |
| 炉内寸法 | ６５０ｗ ｘ １，９００ｄ ｘ ３５０ｈ |
| 出入口形式 | 自動ゲートドアー式 |
| 熱 源 | 熱風発生機 ６ｋｗ ｘ ２基 |
| 温度制御方式 | デジタル電子温度調節計・時間比例式 |
| 循環ﾌｧﾝ | |
| 標準仕様 | 高温遮断器、 |
| オプション | 運転管理表示灯・温度記録計 |
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