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高品位気体流量センサー| 形 式 | TH-1100-HQ | TH-1500-HQ |
| 外 観 |  |
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| 特長・タイプ | 挿入形 (特殊専用フランジノズル) |
小〜中口径インラインタイプ、配管溶接 (高品位センサ) |
| プロセス接続 | 配管ノズルフランジ (特殊専用フランジノズル) |
プロセス配管溶接 |
| 配管口径 | 50A〜100A | 15A〜25A |
| 最高使用温度区分 | 120℃ | 120℃ |
| 最高使用圧力 | 1.0MPa | 1.0MPa |
| 流量レンジ | 最小 : 空気 0 〜 50m3/h(nor) 最大 : 空気 0 〜 3355m3/h (nor) |
最小 : 空気 0 〜 260 L/min(nor) 最大 : 空気 0 〜 4075L/min(nor) |
| 検出器材質 | 検出器 :SUS316L複合電解研磨(表面粗度 Rmax. 0.7μm以下) センサ :SUS316、KOVAR(Ni,Co合金)、アルミナセラミック、金ロー、Niメッキの組み合わせ金属表面光輝 処理(BA) シール :本体部 メタルOリング(PTFE被覆)センサ部 SUS316 |
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| Heリーク性能 | 1×10-10Pa・m3/s以下 | |
