気体流量センサー・高温風量センサー
高温風量センサー
 高品位気体流量センサー
接ガス金属部に複合電解研磨を施し、メタルシールを採用した気体流量センサーです。
ノンパーティクル、低リークを要求される半導体ガスプロセスに最適な気体流量センサーです。
 形 式  TH-1100-HQ  TH-1500-HQ
 外 観 気体流量センサー 気体風量センサー
 特長・タイプ  挿入形
 (特殊専用フランジノズル)
 小〜中口径インラインタイプ、配管溶接
 (高品位センサ)
 プロセス接続  配管ノズルフランジ
 (特殊専用フランジノズル)
 プロセス配管溶接
 配管口径  50A〜100A  15A〜25A
 最高使用温度区分  120℃  120℃
 最高使用圧力   1.0MPa  1.0MPa
 流量レンジ  最小 : 空気 0 〜 50m3/h(nor)
 最大 : 空気 0 〜 3355m3/h (nor)
 最小 : 空気 0 〜 260 L/min(nor)
 最大 : 空気 0 〜 4075L/min(nor)
 検出器材質  検出器 :SUS316L複合電解研磨(表面粗度 Rmax. 0.7μm以下)
 センサ :SUS316、KOVAR(Ni,Co合金)、アルミナセラミック、金ロー、Niメッキの組み合わせ金属表面光輝
      処理(BA)
 シール :本体部 メタルOリング(PTFE被覆)センサ部 SUS316
 Heリーク性能  1×10-10Pa・m3/s以下