概　要

　　　THサーマルフローメータ［気体流量センサー］は熱伝達理論にもとづくオリジナルの気体用熱式流量計です。センサは
　　各種用途に対応出来るよう呼び径15A〜1500Aまで対応可能です。

　　　また、コンバータも使用用途に合わせた単機能タイプから高機能タイプまで各種取り揃えております。（サーマルフローメータ
　　はセンサとコンバータを組み合わせて使用します）


　　特 長

　　・圧力および温度変動に影響されない質量流量計測が可能
　　・低流速範囲から高流速範囲までワイドレンジで実用計測精度有り
　　・可動部が無く高耐久性
　　・0.1kPa以下の低圧力損失（TH-1600/TH-1800シリーズを除く）
　　・整流器組込タイプは上流側直管部がほとんど不要（TH-1800シリーズおよびTH-1200＋オプション整流器）
　　・-196℃の超低温から＋550℃の超高温まで幅広く対応可能
　　・パージ機能付検出器はダスト・ミストを含むラインに対応可能


　　主な用途

　　・半導体製造設備（ガスライン）（気体流量測定）
　　・空調用ライン（風量測定）
　　・医療用ガス供給ライン（気体流量測定）
　　・低圧ガスライン（気体流量測定）
　　・ごみ焼却設備ライン（気体流量測定）

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